Manufacturing Process
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1 POLY SILICON
STACKING
- 고순도 다결정 실리콘을 석영도가니에 충진하는 공정
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2 INGOT
GROWING
- 다결정 실리콘을 고온으로 녹인 뒤
단결정 실리콘 잉곳으로 성장시키는 공정
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3 INGOT GRINDING
& CROPPING
- 잉곳의 표면을 매끄럽게 다듬은 뒤 블록 단위로 절단하는 공정
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4 WIRE
SAWING
- 잉곳 블록을 낱장의 웨이퍼로 절단하는 공정
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5 EDGE
GRINDING
- 웨이퍼의 가장자리 형상을 가공하는 공정
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6 LAPPING
- 웨이퍼의 표면을 매끄럽게 다듬고 평탄하게 만드는 공정
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7 ETCHING
- 웨이퍼 표면의 가공 데미지를 화학작용을 이용해 제거하는 공정
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8 DOUBLE
SIDE GRINDING
- 웨이퍼 표면의 작은 굴곡을 제거하는 공정
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9 POLISHING
- 정밀 가공을 통해 웨이퍼 미세 굴곡을 제거하는 공정
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10 CLEANING
- 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 공정
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11 INSPECTION
- 웨이퍼의 형상과 평탄도 등의 품질을 검사하는 공정
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12 PARTICLE
COUNTING
- 웨이퍼 표면의 결함을 검사하는 공정
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13 EPITAXIAL
GROWING
- 웨이퍼 위에 실리콘 단결정층을 증착하는 공정
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14 PACKING
- 충격, 먼지, 습기로 부터 보호하기위해 제품을 포장하는 공정
300mm Silicon Wafer Manufacturing Process
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1
POLY SILICON STACKING
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2
INGOT GROWING
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3
INGOT GRINDING &
CROPPING
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4
WIRE SAWING
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5
EDGE GRINDING
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6
LAPPING
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7
ETCHING
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8
DOUBLE SIDE GRINDING
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9
POLISHING
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10
CLEANING
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11
INSPECTION
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12
PARTICLE COUNTING
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13
EPI GROWING
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14
PACKING