SK실트론

300mm Epitaxial Wafer

Manufacturing Process

  1. Poly Silicon Stacking
    1 POLY SILICON
    STACKING
    고순도 다결정 실리콘을 석영도가니에 충진하는 공정
  2. 2 INGOT
    GROWING
    다결정 실리콘을 고온으로 녹인 뒤
    단결정 실리콘 잉곳으로 성장시키는 공정
    INGOT Growing
  3. INGOT Grinding & Cropping
    3 INGOT GRINDING
    & CROPPING
    잉곳의 표면을 매끄럽게 다듬은 뒤 블록 단위로 절단하는 공정
  4. 4 WIRE
    SAWING
    잉곳 블록을 낱장의 웨이퍼로 절단하는 공정
    Wire Sawing
  5. Edge Grinding
    5 EDGE
    GRINDING
    웨이퍼의 가장자리 형상을 가공하는 공정
  6. 6 LAPPING
    웨이퍼의 표면을 매끄럽게 다듬고 평탄하게 만드는 공정
    Lapping
  7. Etching
    7 ETCHING
    웨이퍼 표면의 가공 데미지를 화학작용을 이용해 제거하는 공정
  8. 8 DOUBLE
    SIDE GRINDING
    웨이퍼 표면의 작은 굴곡을 제거하는 공정
    Double Side Grinding
  9. Polishing
    9 POLISHING
    정밀 가공을 통해 웨이퍼 미세 굴곡을 제거하는 공정
  10. 10 CLEANING
    웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 공정
    Cleaning
  11. Inspection
    11 INSPECTION
    웨이퍼의 형상과 평탄도 등의 품질을 검사하는 공정
  12. 12 PARTICLE
    COUNTING
    웨이퍼 표면의 결함을 검사하는 공정
    Particle Counting
  13. EPITAXIAL Growing
    13 EPITAXIAL
    GROWING
    웨이퍼 위에 실리콘 단결정층을 증착하는 공정
  14. 14 PACKING
    충격, 먼지, 습기로 부터 보호하기위해 제품을 포장하는 공정
    Packing

300mm Silicon Wafer Manufacturing Process

  1. 1 POLY SILICON STACKING Poly Silicon Stacking
  2. 2 INGOT GROWING INGOT Growing
  3. 3 INGOT GRINDING &
    CROPPING
    INGOT Grinding & Cropping
  4. 4 WIRE SAWING Wire Sawing
  5. 5 EDGE GRINDING Edge Grinding
  6. 6 LAPPING Lapping
  7. 7 ETCHING Etching
  8. 8 DOUBLE SIDE GRINDING Double Side Grinding
  9. 9 POLISHING Polishing
  10. 10 CLEANING Cleaning
  11. 11 INSPECTION Inspection
  12. 12 PARTICLE COUNTING Particle Counting
  13. 13 EPI GROWING EPI Growing
  14. 14 PACKING Packing