Manufacturing Process
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1 POLY SILICON
STACKING
- 将高纯度多晶硅填充到石英坩埚中的工序。
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2 INGOT
GROWING
- 在高温下熔化多晶硅并将其生长成单晶体的工序。
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3 INGOT GRINDING
& CROPPING
- 使铸锭表面变得光滑,并逐块切割的工序。
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4 WIRE
SAWING
- 将铸锭块切割成片状晶片的工序。
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5 EDGE
GRINDING
- 加工晶片边缘形状的工序。
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6 LAPPING
- 使晶片表面平滑、平整制作的工序。
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7 ETCHING
- 通过化学反应去除晶片表面上的加工损伤的工序。
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8 DOUBLE
SIDE GRINDING
- 去除晶片表面上的小弯曲的工序
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9 POLISHING
- 通过精密加工消除晶片微弯曲的工序。
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10 CLEANING
- 去除晶片表面杂质的工序。
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11 INSPECTION
- 检查晶片形状和平整度等品质的工序。
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12 PARTICLE
COUNTING
- 检查晶片表面缺陷的工序。
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13 EPITAXIAL
GROWING
- 在晶片上蒸镀硅单晶层的工序。
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14 PACKING
- 包装产品的工序,以保护产品免受冲击、灰尘和湿气的影响。
300mm Silicon Wafer Manufacturing Process
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1
POLY SILICON STACKING
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2
INGOT GROWING
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3
INGOT GRINDING &
CROPPING
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4
WIRE SAWING
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5
EDGE GRINDING
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6
LAPPING
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7
ETCHING
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8
DOUBLE SIDE GRINDING
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9
POLISHING
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10
CLEANING
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11
INSPECTION
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12
PARTICLE COUNTING
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13
EPI GROWING
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14
PACKING