SK siltron

300mm Epitaxial Wafer

Manufacturing Process

  1. Poly Silicon Stacking
    1 POLY SILICON
    STACKING
    将高纯度多晶硅填充到石英坩埚中的工序。
  2. 2 INGOT
    GROWING
    在高温下熔化多晶硅并将其生长成单晶体的工序。
    INGOT Growing
  3. INGOT Grinding & Cropping
    3 INGOT GRINDING
    & CROPPING
    使铸锭表面变得光滑,并逐块切割的工序。
  4. 4 WIRE
    SAWING
    将铸锭块切割成片状晶片的工序。
    Wire Sawing
  5. Edge Grinding
    5 EDGE
    GRINDING
    加工晶片边缘形状的工序。
  6. 6 LAPPING
    使晶片表面平滑、平整制作的工序。
    Lapping
  7. Etching
    7 ETCHING
    通过化学反应去除晶片表面上的加工损伤的工序。
  8. 8 DOUBLE
    SIDE GRINDING
    去除晶片表面上的小弯曲的工序
    Double Side Grinding
  9. Polishing
    9 POLISHING
    通过精密加工消除晶片微弯曲的工序。
  10. 10 CLEANING
    去除晶片表面杂质的工序。
    Cleaning
  11. Inspection
    11 INSPECTION
    检查晶片形状和平整度等品质的工序。
  12. 12 PARTICLE
    COUNTING
    检查晶片表面缺陷的工序。
    Particle Counting
  13. EPITAXIAL Growing
    13 EPITAXIAL
    GROWING
    在晶片上蒸镀硅单晶层的工序。
  14. 14 PACKING
    包装产品的工序,以保护产品免受冲击、灰尘和湿气的影响。
    Packing

300mm Silicon Wafer Manufacturing Process

  1. 1 POLY SILICON STACKING Poly Silicon Stacking
  2. 2 INGOT GROWING INGOT Growing
  3. 3 INGOT GRINDING &
    CROPPING
    INGOT Grinding & Cropping
  4. 4 WIRE SAWING Wire Sawing
  5. 5 EDGE GRINDING Edge Grinding
  6. 6 LAPPING Lapping
  7. 7 ETCHING Etching
  8. 8 DOUBLE SIDE GRINDING Double Side Grinding
  9. 9 POLISHING Polishing
  10. 10 CLEANING Cleaning
  11. 11 INSPECTION Inspection
  12. 12 PARTICLE COUNTING Particle Counting
  13. 13 EPI GROWING EPI Growing
  14. 14 PACKING Packing