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ZIP
Zigzag In-line Package
QFP
Quad Flat package
Silicon Tetrachloride(SiCl₄)
Accel Mode
이온 주입시 가속에너지를 가해준 상태에서 주입하는 형태.
Epitaxial
단결정 기판 위에 형성한 단결정 반도체막. 에피층은 기판과 같은 결정형태이다. 기관이나 매몰층에 적층된 N형 실리콘 층은 에피텍시 실리콘이다.
Wafer Etch
반도체 제조공정에 있어 Wafer의 어떠한 표면층을 식각하고자 할 때 화공 약품(액체, 기체)를 이용하여 식각하는 방법.