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ZIP
Zigzag In-line Package
Boat Puller
일정한 속도로 보트를 웨이퍼와 함께 로에 넣거나 빼는 기계장치.
Slug
= Buried Layer
Reactor
반도체 공정에 쓰이는 물질을 적층하는 장치. 보통 에피 반응기. Vapox 반응기. 질화막 반응기가 있다.
Grow junction
용융상태에서 성장되면서 단결정의 불순물 형태를 조절해서 만든 P/N 접합.
Ion implantation
원하는 전기적 특성을 얻기 위해 고전압 이온 충격을 써서 반도체의 조절된 지역에 선별된 불순물을 넣는 공정.