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Yield
반도체 제조공정에 있어서의 양품률을 말하며, 투입된 wafer 수에 대하여 완성양품 wafer 수의 비율을 나타내는 공정수율과 1 wafer 당 chip 수에 대해 wafer test를 통해 남아 있는 양품수의 비율을 나타내는 chip 수율 등이 있다. 일반적으로 수율을 말할 때는 chip 수율을 말하는 경우가 많다.
Surface State
결정의 불완전이나 오염으로 반도체 표면에 생겨서 시간에 따라 나쁘게 변하는 과잉도너, 액셉터 및 트랩.
Donor
전도대에 과잉 자유전자를 냄으로써 반도체를 N형으로 만드는 불순물. 자유전자는 음성전하 반송체이다.
Drive-in
주입된 ion 등을 필요한 만큼 확산시키는 공정.diffusion과 동일한 의미.
Isolation
표준 바이폴라 회로 제조의 두번째 마스크. 격리 IR공정에서 예치된 지역의 실리콘에 보론을 확산시켜 전기적으로 분리되거나 고립된 지역을 만든다.
Contact
적층되어 있는 전도층들을 연결시켜 주기 위하여 절연물에 구멍을 뚫는 것을 말한다.