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Yield
반도체 제조공정에 있어서의 양품률을 말하며, 투입된 wafer 수에 대하여 완성양품 wafer 수의 비율을 나타내는 공정수율과 1 wafer 당 chip 수에 대해 wafer test를 통해 남아 있는 양품수의 비율을 나타내는 chip 수율 등이 있다. 일반적으로 수율을 말할 때는 chip 수율을 말하는 경우가 많다.
Device
소자. 가공 또는 조립이 완료된 제품을 말한다.
Boat
1. 고온 공정에서 웨이퍼를 지지하는 구조로 형성된 수정조각. 2. 습식 공정에서 웨이퍼를 붙잡는데 쓰이는 테프론 혹은 플라스틱 구조물.
Phosphine(PH₃)
실리콘을 인으로 도핑할 때 원료로 쓰이는 가스.
2FT
device의 고온에서의 전기적 특성 및 동작 상태를 측정하여 그 불량을 제거하기위한 공정.
Charge carrier
전자나 홀 등의 반도체 소자 결정에서의 전하의 운반체.