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Yield
반도체 제조공정에 있어서의 양품률을 말하며, 투입된 wafer 수에 대하여 완성양품 wafer 수의 비율을 나타내는 공정수율과 1 wafer 당 chip 수에 대해 wafer test를 통해 남아 있는 양품수의 비율을 나타내는 chip 수율 등이 있다. 일반적으로 수율을 말할 때는 chip 수율을 말하는 경우가 많다.
MOSFET
실리콘 위의 얇은 산화막 위의 금속 게이트를 가진 전계효과 트랜지스터.
Donor
전도대에 과잉 자유전자를 냄으로써 반도체를 N형으로 만드는 불순물. 자유전자는 음성전하 반송체이다.
Susceptor
에피 성장이나 질화막 적층 등의 고온 공정 때 웨이퍼를 고정하는 납작한 물질(보통 흑연).
SRAM
가스(산화나 질소)를 98 ~100℃의 물에 버블시켜 키우는 열 산화막.
Drive-in
주입된 ion 등을 필요한 만큼 확산시키는 공정.diffusion과 동일한 의미.