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Yield
반도체 제조공정에 있어서의 양품률을 말하며, 투입된 wafer 수에 대하여 완성양품 wafer 수의 비율을 나타내는 공정수율과 1 wafer 당 chip 수에 대해 wafer test를 통해 남아 있는 양품수의 비율을 나타내는 chip 수율 등이 있다. 일반적으로 수율을 말할 때는 chip 수율을 말하는 경우가 많다.
CCD
Charge Coupled Device. 전극의 전압을 조절해서 전하를 다른 전극으로 움직일 수 있는 표면 위의 절연 전극에 의한 반도체내 전하의 저장에 의해 동작하는 반도체 소자.
Planar Structure
단일 평면에서 접합과 확산, 그리고 산화막 마스킹으로 만드는 평면 소자구조. 구조의 평면성은 PR공정에 유리하다.
STC
Silicon Integrated Circuit. 트랜지스터, 다이오드, 저항 및 캐패시터가 실리콘에 형성되고 배선되는 집적회로.
Ingot
용융상태에서 고형화된 실리콘 단결정 막대.
ACI
After Cleaning Inspection. 식각공정 중 건식, 습식 및 감광액 제거후 현미경 및 측정장치 등을 이용해 식각의 정확성, 이물질의 잔존, CD등을 검사하는 작업