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XPS
X-ray Photoelectron Spectroscopy. X선이나 자외선에 의해 여기된 전자의 에너지 양을 측정하여 재료의 조성과 불순물의 분석, Sputtering을 통해 깊이 방향 분포 분석, 화학 결합 상태를 알 수 있다.
X-ray Photoelectron Spectroscopy
XPS. X선이나 자외선에 의해 여기된 전자의 에너지 양을 측정하여 재료의 조성과 불순물의 분석, Sputtering을 통해 깊이 방향 분포 분석, 화학 결합 상태를 알 수 있다.
XRF
X-ray Fluorescent Analyzer. Incident X-ray를 미지의 시료에 조사하여 시료내의 원소들이 방출하는 형광 X-ray의 Intensity를 측정함으로써 구성 원소들의 농도나 두께 등을 측정하는 장비
FET
Field-effect Transistor. 다수 반송자가 게이트를 거쳐 소스에서 드레인으로 흐르는 소스. 게이트, 드레인으로 구성된 트랜지스터. 반송자의 흐름은 밑의 수직 전장으로 조절된다.
Boat
1. 고온 공정에서 웨이퍼를 지지하는 구조로 형성된 수정조각. 2. 습식 공정에서 웨이퍼를 붙잡는데 쓰이는 테프론 혹은 플라스틱 구조물.
Phosphorus(P)
표준 바이폴라 IC기술에서 보통 에미터 확산에 쓰이는 N형 도펀트.
MICRON
길이의 단위. 1마이크론은 백만분의 일미터.
Boron Trichloride
실리콘 도핑에서 Boron의 원료로 쓰이는 가스.