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Under Etch
원하는 두께보다 적게 식각되는 것.
Unipolar transistor
동작이 다수 반송자에만 의존하는 FET등의 트랜지스터.
UV Light
자외선 (Ultra Violet Light)으로 자외선에 비해 파장이 짧고 Energy Density가 큰 특징이 있어 Photolithography공정에 이용된다.
Anneal
웨이퍼의 응력을 풀어 소자에의 표면 영향이 줄도록 마지막으로 하는 고온처리.
Alloy
반도체 공정에서 얼로이 스텝은 반도체와 그 상층 물질을 서로 확장시켜 그 사이에 저항성 콘택트를 형성한다.
Source
게이트 및 드레인과 함께 FET나 유니폴라의 세지역의 하나.
MOS
Metal Oxide Semiconductor의 약어이며 실리콘 기판 위에 산화막을 형성시키고 그 위에 실리콘 전극을 형성하여 전장에 의한 실리콘 표면의 전하를 조절할 수 있는 구조.
Minority Carrier
P영역의 전자 등 반도체의 비주류 이동성 전하 운반체.