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IC(integrated circuit)
작은 면적에 많은 전자회로가 서로 연결되어 하나의 회로로서 기능을 갖게 한 집적 회로.
Impurity
불순물. donor와 accepter와 같이 특정한 목적으로 기판에 주입하는 물질.
Ingot
용융상태에서 고형화된 실리콘 단결정 막대.
Inking
조립공정에 대비하여 양, 불량 칩을 구분하기 위해 고온 경화성 ink를 사용하여 불량 chip에 점을 찍는 공정.
Inspection
웨이퍼의 이상 유무를 현미경이나 육안으로 검사하는 공정.
Integrated circuits(IC)
집적회로. 반도체로 된 하나의 칩에 몇 개에서 수천 개의 소자로 구성된 전기회로.
Ion
전자를 잃거나 얻어서 전하를 가진 입자가 된 원자(음,양이 있다).
Ion implantation
원하는 전기적 특성을 얻기 위해 고전압 이온 충격을 써서 반도체의 조절된 지역에 선별된 불순물을 넣는 공정.
IR
implantation resistor의 약어로서 photo에서 확산까지의 공정을 말한다.
Isolation
표준 바이폴라 회로 제조의 두번째 마스크. 격리 IR공정에서 예치된 지역의 실리콘에 보론을 확산시켜 전기적으로 분리되거나 고립된 지역을 만든다.
Isopropyl alcohol
반도체 공정에서 최종 린스나 드라이어에 쓰이는 용제.
CCD
Charge Coupled Device. 전극의 전압을 조절해서 전하를 다른 전극으로 움직일 수 있는 표면 위의 절연 전극에 의한 반도체내 전하의 저장에 의해 동작하는 반도체 소자.
Dose
ion implantation 등 충격에 의해서 반도체의 불순물을 주입하는 것을 dose라고 하며, 그 주입량을 dose량이라고 한다.
Paddle
Chip이 얹혀지는 L/F의 부분. Chip Size에 따라 Paddle Size가 결정된다.
Source
게이트 및 드레인과 함께 FET나 유니폴라의 세지역의 하나.
Junction transistor
P/N접합으로 형성된 바이폴라 트랜지스터. 아는 FET나 점접촉 트랜지스터와 구분하는 데 쓰는 말이다.