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Grow junction
용융상태에서 성장되면서 단결정의 불순물 형태를 조절해서 만든 P/N 접합.
Emitter
1. 반송자의 원천이나 끝이 되는 트랜지스터의 지역. 2. NPN 트랜지스터의 에미터, PNP트랜지스터의 베이스 콘택트,NPN 트랜지스터의 N+ 콘택트 및 저항을 형성하는 인을 쓴 N+ 확산.
UV Light
자외선 (Ultra Violet Light)으로 자외선에 비해 파장이 짧고 Energy Density가 큰 특징이 있어 Photolithography공정에 이용된다.
Epitaxial
단결정 기판 위에 형성한 단결정 반도체막. 에피층은 기판과 같은 결정형태이다. 기관이나 매몰층에 적층된 N형 실리콘 층은 에피텍시 실리콘이다.
STC
Silicon Integrated Circuit. 트랜지스터, 다이오드, 저항 및 캐패시터가 실리콘에 형성되고 배선되는 집적회로.
Phosphine(PH₃)
실리콘을 인으로 도핑할 때 원료로 쓰이는 가스.